● 複数NGのある部品を再作業する際にPASS Bufferで進行

● インスペクションATM Check時に再作業部品として製造を開始する機能

● UNOLLER PART ATM点検時、LOAD PORT代替ローディングシステムを適用

● AIRCHUCK 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)ウェハーすべて作動

● 独自開発したSPC SWを利用してデータ、不良イメージ、 チャートなど指定されたデータ　　

　　を出力しモニタリング可能

● PEMTRON SMARTRONサーバーシステムで一つの運営PCを通じて各機器を見て制御し、

   　すべての機器の運営状態およびSPC DATAをモニタリング可能

● 3D検査方法論を用いてBUMP検査処理

● 優れた検査精度に基づいて欠陥を点検し、デバッグするためのリソース削減